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硅片超聲波清洗機(jī)在原來(lái)的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)、設(shè)計(jì)，功能多，但易操作，主要用于清洗硅片、藍(lán)寶石襯底晶片，晶片、光學(xué)玻璃、光學(xué)鏡片的酸洗等。
硅片超聲波清洗機(jī)硅片擴(kuò)散超聲波清洗機(jī)該設(shè)備用于晶圓片擴(kuò)散、蒸發(fā)、CAV生產(chǎn)前的清洗處理。該機(jī)共有六種清洗方式可供選擇，清洗程序?yàn)榧兯逑?、膽堿清洗、冷熱純水沖洗、酸洗（HF）、純水清洗
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